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エネルギー（数 eV）を一定にそろえた電子を固体表面に入射したとき、 表面吸着種と下地コンプレックスの局在振動モード、フォノン、プラズモンなどが励起されることによって、 エネルギーをロスして散乱される電子が存在する。その散乱電子のエネルギーを分析することで、 吸着種、吸着状態、吸着種間相互作用、反応中間体、表面反応のプロセスおよび 反応経路などに関する微視的情報を得ることができるを知る表面分析手法。
- 高感度（0.1 ML以下の吸着種の振動スペクトルを測定できる。）
- 広測定波数域（100 cm-1などの低波数領域まで高感度に測定可能）
- 吸着種の結合の方向を知ることができる（off-specular 方向での測定により表面垂直方向と平行方向の振動モードを区別することができる）
- 超高真空条件（低速電子線は気相分子との相互作用断面積が大きい）
- 分解能が低い->最近は改良により0.5meVの分解能を出すHREELSも開発されている。